Οι αισθητήρες πίεσης ημιαγωγών μπορούν να χωριστούν σε δύο κατηγορίες, βασίζεται στην αρχή ότι τα χαρακτηριστικά Ι-Υ της μεταβολής της διασταύρωσης PN (ή της διασταύρωσης Schottky) υπό το στρες. Η απόδοση αυτού του ευαίσθητου στοιχείου πίεσης είναι πολύ ασταθής και δεν έχει αναπτυχθεί σε μεγάλο βαθμό. Ο άλλος είναι ο αισθητήρας που βασίζεται σε πιεζοηλεκτρικό αποτέλεσμα ημιαγωγών, το οποίο είναι η κύρια ποικιλία του αισθητήρα πίεσης ημιαγωγού. Στις πρώτες μέρες, οι μετρητές στελεχών ημιαγωγών συνδέθηκαν κυρίως με ελαστικά στοιχεία για να κάνουν διάφορα όργανα μέτρησης στρες και καταπόνησης. Στη δεκαετία του 1960, με την ανάπτυξη τεχνολογίας ολοκληρωμένης κυκλώματος ημιαγωγών, εμφανίστηκε ένας αισθητήρας πίεσης ημιαγωγού με αντίσταση διάχυσης ως πιεζοηλεκτρικό στοιχείο. Αυτός ο αισθητήρας πίεσης έχει απλή και αξιόπιστη δομή, δεν υπάρχουν σχετικά κινούμενα μέρη και το στοιχείο ευαίσθητο στην πίεση και το ελαστικό στοιχείο του αισθητήρα είναι ενσωματωμένα, γεγονός που αποφεύγει τη μηχανική καθυστέρηση και ερπυσμό και βελτιώνει την απόδοση του αισθητήρα.

Η πιεζοηλεκτρική επίδραση του ημιαγωγού ημιαγωγών έχει ένα χαρακτηριστικό που σχετίζεται με την εξωτερική δύναμη, δηλαδή η αντίσταση (που αντιπροσωπεύεται από το σύμβολο ρ) αλλάζει με το στρες που φέρει, το οποίο ονομάζεται πιεζοαετή επίδραση. Η σχετική αλλαγή της αντίστασης κάτω από τη δράση του στρες της μονάδας ονομάζεται πιεζοηλεκτρικός συντελεστής, ο οποίος εκφράζεται από το σύμβολο π. Εκφράζεται μαθηματικά ως ρ/ρ = π σ.

Όπου το σ αντιπροσωπεύει το άγχος. Η μεταβολή της τιμής αντίστασης (R/R) που προκαλείται από την αντίσταση του ημιαγωγού υπό τάση καθορίζεται κυρίως από την αλλαγή της αντίστασης, οπότε η έκφραση του πιεζοηλεκτρικού αποτελέσματος μπορεί επίσης να γραφτεί ως r/r = πσ.

Κάτω από τη δράση της εξωτερικής δύναμης, δημιουργούνται ορισμένες τάσεις (σ) και στέλεχος (ε) σε κρυστάλλους ημιαγωγών και η σχέση μεταξύ τους καθορίζεται από το συντελεστή του Young (y) του υλικού, δηλαδή το y = σ/ε.

Εάν το πιεζοηλεκτρικό αποτέλεσμα εκφράζεται από το στέλεχος του ημιαγωγού, είναι R/R = Gε.

Το G ονομάζεται συντελεστής ευαισθησίας του αισθητήρα πίεσης, ο οποίος αντιπροσωπεύει τη σχετική μεταβολή της τιμής αντίστασης κάτω από την καταπόνηση μονάδας.

Ο πιεζοηλεκτρικός συντελεστής ή ο συντελεστής ευαισθησίας είναι η βασική φυσική παράμετρος του πιεζοιζόμενου αποτελέσματος του ημιαγωγού. Η σχέση μεταξύ τους, όπως και η σχέση μεταξύ στρες και καταπόνησης, καθορίζεται από το συντελεστή του υλικού του Young, δηλαδή το g = π y.

Λόγω της ανισοτροπίας των κρυστάλλων ημιαγωγών στην ελαστικότητα, ο συντελεστής του Young και ο πιεζοηλεκτρικός συντελεστής μεταβάλλονται με τον προσανατολισμό των κρυστάλλων. Το μέγεθος της πιεζοηλεκτρικής επίδρασης ημιαγωγών συνδέεται επίσης στενά με την αντίσταση του ημιαγωγού. Όσο χαμηλότερη είναι η αντίσταση, τόσο μικρότερος είναι ο συντελεστής ευαισθησίας. Η πιεζοηλεκτρική επίδραση της αντίστασης διάχυσης προσδιορίζεται από τον προσανατολισμό του κρυσταλλικού και τη συγκέντρωση ακαθαρσίας της αντίστασης διάχυσης. Η συγκέντρωση ακαθαρσίας αναφέρεται κυρίως στη συγκέντρωση της επιφανειακής ακαθαρσίας του στρώματος διάχυσης.