Μονό τσιπ γεννήτρια κενού CTA(B)-B με δύο θύρες μέτρησης

Ανάλυση απόδοσης αναρρόφησης γεννήτριας κενού

1. Κύριες παράμετροι απόδοσης της γεννήτριας κενού

① Κατανάλωση αέρα: αναφέρεται στη ροή qv1 που ρέει έξω από το ακροφύσιο.

② Ρυθμός ροής αναρρόφησης: αναφέρεται στον ρυθμό ροής αέρα qv2 που εισπνέεται από τη θύρα αναρρόφησης. Όταν η θύρα αναρρόφησης είναι ανοιχτή στην ατμόσφαιρα, ο ρυθμός ροής αναρρόφησης είναι ο μεγαλύτερος, ο οποίος ονομάζεται μέγιστος ρυθμός ροής αναρρόφησης qv2max.

③ Πίεση στη θύρα αναρρόφησης: καταγράφεται ως Pv. Όταν η θύρα αναρρόφησης είναι τελείως κλειστή (π.χ. ο δίσκος αναρρόφησης ρουφάει το τεμάχιο εργασίας), δηλαδή όταν η ροή αναρρόφησης είναι μηδέν, η πίεση στη θύρα αναρρόφησης είναι η χαμηλότερη, καταγράφεται ως Pvmin.

④ Χρόνος απόκρισης αναρρόφησης: Ο χρόνος απόκρισης αναρρόφησης είναι μια σημαντική παράμετρος που υποδεικνύει την απόδοση λειτουργίας της γεννήτριας κενού, η οποία αναφέρεται στο χρόνο από το άνοιγμα της βαλβίδας αναστροφής έως την επίτευξη ενός απαραίτητου βαθμού κενού στον βρόχο του συστήματος.

2. Κύριοι παράγοντες που επηρεάζουν την απόδοση της γεννήτριας κενού

Η απόδοση της γεννήτριας κενού σχετίζεται με πολλούς παράγοντες, όπως η ελάχιστη διάμετρος του ακροφυσίου, το σχήμα και η διάμετρος του σωλήνα συστολής και διάχυσης, η αντίστοιχη θέση της και η πίεση της πηγής αερίου. Το Σχ. 2 είναι ένα γράφημα που δείχνει τη σχέση μεταξύ της πίεσης εισόδου αναρρόφησης, του ρυθμού ροής αναρρόφησης, της κατανάλωσης αέρα και της πίεσης παροχής μιας γεννήτριας κενού. Δείχνει ότι όταν η πίεση τροφοδοσίας φτάσει σε μια ορισμένη τιμή, η πίεση εισόδου αναρρόφησης είναι χαμηλή και στη συνέχεια ο ρυθμός ροής αναρρόφησης φτάνει στο μέγιστο. Όταν η πίεση τροφοδοσίας συνεχίζει να αυξάνεται, η πίεση εισόδου αναρρόφησης αυξάνεται και, στη συνέχεια, ο ρυθμός ροής αναρρόφησης μειώνεται.

① Χαρακτηριστική ανάλυση της μέγιστης ροής αναρρόφησης qv2max: Το ιδανικό χαρακτηριστικό qv2max της γεννήτριας κενού απαιτεί το qv2max να βρίσκεται στη μέγιστη τιμή εντός του εύρους της κοινής πίεσης παροχής (P01 = 0,4-0,5 MPa) και να αλλάζει ομαλά με το P01.

(2) Χαρακτηριστική ανάλυση της πίεσης Pv στη θύρα αναρρόφησης: Ένα ιδανικό Pv χαρακτηριστικό της γεννήτριας κενού απαιτεί το Pv να βρίσκεται στην ελάχιστη τιμή εντός του εύρους της κοινής πίεσης παροχής (P01 = 0,4-0,5 MPa) και να αλλάζει ομαλά με Pv1.

(3) Υπό την προϋπόθεση ότι ο θόρυβος εισόδου αναρρόφησης είναι τελείως κλειστός, η σχέση μεταξύ της πίεσης Pv στην είσοδο αναρρόφησης και του ρυθμού ροής αναρρόφησης υπό συγκεκριμένες συνθήκες φαίνεται στο σχήμα 3. Προκειμένου να επιτευχθεί μια ιδανική σχέση αντιστοίχισης μεταξύ της πίεσης Στην είσοδο αναρρόφησης και στον ρυθμό ροής αναρρόφησης, οι γεννήτριες κενού πολλαπλών σταδίων μπορούν να σχεδιαστούν ώστε να συνδυάζονται σε σειρά.