Αισθητήρας πίεσης κινητήρα 2CP3-68 1946725 για εκσκαφέα Carter

Μια μέθοδος για την προετοιμασία ενός αισθητήρα πίεσης, που χαρακτηρίζεται από τα ακόλουθα βήματα:

S1, παρέχοντας μια γκοφρέτα με μια πίσω επιφάνεια και μια μπροστινή επιφάνεια. Σχηματίζοντας μια πιεζοαντιστατική λωρίδα και μια περιοχή επαφής με έντονη πρόσμιξη στην μπροστινή επιφάνεια της γκοφρέτας. Σχηματισμός βαθιάς κοιλότητας υπό πίεση με χάραξη της πίσω επιφάνειας της γκοφρέτας.

S2, κολλώντας ένα φύλλο στήριξης στο πίσω μέρος της γκοφρέτας.

S3, που κατασκευάζει οπές μολύβδου και μεταλλικά σύρματα στην μπροστινή πλευρά της γκοφρέτας και συνδέει πιεζοαντιστικές λωρίδες για να σχηματίσει μια γέφυρα Wheatstone.

S4, εναποθέτοντας και σχηματίζοντας ένα στρώμα παθητικοποίησης στην μπροστινή επιφάνεια της γκοφρέτας και ανοίγοντας μέρος του στρώματος παθητικοποίησης για να σχηματιστεί μια περιοχή μεταλλικού μαξιλαριού. 2. Η μέθοδος κατασκευής του αισθητήρα πίεσης σύμφωνα με την αξίωση 1, όπου το S1 περιλαμβάνει συγκεκριμένα τα ακόλουθα στάδια: S11: παροχή μιας πλακέτας με μια πίσω επιφάνεια και μια μπροστινή επιφάνεια, και καθορισμός του πάχους μιας ευαίσθητης στην πίεση φιλμ στη γκοφρέτα. S12: Η εμφύτευση ιόντων χρησιμοποιείται στην μπροστινή επιφάνεια της γκοφρέτας, οι πιεζοαντιστατικές λωρίδες κατασκευάζονται με μια διαδικασία διάχυσης σε υψηλή θερμοκρασία και οι περιοχές επαφής εμποτίζονται σε μεγάλο βαθμό. S13: εναπόθεση και σχηματισμός προστατευτικού στρώματος στην μπροστινή επιφάνεια της γκοφρέτας. S14: χάραξη και σχηματισμός μιας βαθιάς κοιλότητας πίεσης στο πίσω μέρος της γκοφρέτας για να σχηματιστεί μια ευαίσθητη στην πίεση φιλμ. 3. Η μέθοδος κατασκευής του αισθητήρα πίεσης σύμφωνα με την αξίωση 1, όπου η γκοφρέτα είναι SOI.

Το 1962, οι Tufte et al. κατασκεύασε για πρώτη φορά έναν πιεζοαντιστατικό αισθητήρα πίεσης με πιεζοαντιστατικές ταινίες διάχυτου πυριτίου και δομή φιλμ πυριτίου για πρώτη φορά και ξεκίνησε την έρευνα για τον πιεζοαντιστατικό αισθητήρα πίεσης. Στα τέλη της δεκαετίας του 1960 και στις αρχές της δεκαετίας του 1970, η εμφάνιση τριών τεχνολογιών, δηλαδή, η τεχνολογία ανισότροπης χάραξης πυριτίου, η τεχνολογία εμφύτευσης ιόντων και η τεχνολογία ανοδικής συγκόλλησης, έφεραν μεγάλες αλλαγές στον αισθητήρα πίεσης, ο οποίος έπαιξε σημαντικό ρόλο στη βελτίωση της απόδοσης του αισθητήρα πίεσης. . Από τη δεκαετία του 1980, με την περαιτέρω ανάπτυξη της τεχνολογίας μικρομηχανικής, όπως η ανισότροπη χάραξη, η λιθογραφία, το ντόπινγκ διάχυσης, η εμφύτευση ιόντων, η συγκόλληση και η επικάλυψη, το μέγεθος του αισθητήρα πίεσης μειώνεται συνεχώς, η ευαισθησία έχει βελτιωθεί και η απόδοση είναι υψηλή και η απόδοση είναι εξαιρετική. Ταυτόχρονα, η ανάπτυξη και η εφαρμογή νέας τεχνολογίας μικροκατεργασίας καθιστούν το πάχος του φιλμ του αισθητήρα πίεσης ελεγχόμενο με ακρίβεια.