Ισχύει για τον αισθητήρα πίεσης κοινής πίεσης του καυσίμου Passat 06E906051K

1. Μία μέθοδος για τη διαμόρφωση ενός αισθητήρα πίεσης, που περιλαμβάνει:

Παρέχοντας ένα υπόστρωμα ημιαγωγού, όπου σχηματίζεται ένα πρώτο διηλεκτρικό στρώμα ενδιάμεσης στρώσης, ένα διηλεκτρικό στρώμα ενδιάμεσης στρώσης και ένα δεύτερο διηλεκτρικό στρώμα ενδιάμεσης στρώσης στο υπόστρωμα ημιαγωγού.

Μια χαμηλότερη πλάκα ηλεκτροδίου στο πρώτο διηλεκτρικό στρώμα ενδιάμεσης στρώσης, ένα πρώτο αμοιβαίο ηλεκτρόδιο που βρίσκεται στο ίδιο στρώμα με την κάτω πλάκα ηλεκτροδίου και τοποθετείται σε απόσταση.

Σύνδεση στρώματα?

Σχηματίζοντας ένα στρώμα θυσίας πάνω από την κάτω πολική πλάκα.

Σχηματίζοντας μια επάνω πλάκα ηλεκτροδίου στο πρώτο διηλεκτρικό στρώμα ενδιάμεσης στρώσης, το πρώτο στρώμα διασύνδεσης και το θυσιαστικό στρώμα.

Μετά τη διαμόρφωση του θυσιακού στρώματος και πριν από τη διαμόρφωση της επάνω πλάκας, στο πρώτο στρώμα διασύνδεσης

Σχηματίζοντας μια αυλάκωση σύνδεσης και γεμίζοντας την αυλάκωση σύνδεσης με την επάνω πλάκα για να συνδεθεί ηλεκτρικά με το πρώτο στρώμα διασύνδεσης. Ή,

Μετά τη διαμόρφωση της επάνω πλάκας ηλεκτροδίου, η σύνδεση αυλακώσεων σχηματίζονται στην επάνω πλάκα ηλεκτροδίου και το πρώτο στρώμα διασύνδεσης, το οποίο

Σχηματίζοντας ένα αγώγιμο στρώμα που συνδέει την επάνω πλάκα ηλεκτροδίου και το πρώτο στρώμα διασύνδεσης στη σύνδεση Groove.

Μετά την ηλεκτρική σύνδεση της επάνω πλάκας και του πρώτου στρώματος διασύνδεσης, αφαιρώντας το στρώμα θυσίας για να σχηματίσει μια κοιλότητα.

2. Η μέθοδος για τη διαμόρφωση ενός αισθητήρα πίεσης σύμφωνα με την απαίτηση 1, όπου στο πρώτο στρώμα

Η μέθοδος για τη διαμόρφωση του στρώματος θυσίας στο διηλεκτρικό στρώμα Interlayer περιλαμβάνει τα ακόλουθα βήματα:

Καταθέτοντας ένα στρώμα θυσίας υλικού στο πρώτο διηλεκτρικό στρώμα ενδιάμεσης στρώσης.

Διαμορφώνοντας το στρώμα θυσίας για να σχηματίσουν ένα στρώμα θυσίας.

3. Η μέθοδος για τη διαμόρφωση του αισθητήρα πίεσης σύμφωνα με την αξίωση 2, όπου χρησιμοποιούνται φωτοβολιτογραφία και χάραξη.

Το στρώμα θυσίας υλικού σχεδιάζεται με τη διαδικασία χάραξης.

4. Η μέθοδος για τη διαμόρφωση ενός αισθητήρα πίεσης σύμφωνα με την αξίωση 3, όπου το στρώμα θυσίας

Το υλικό είναι άμορφο άνθρακα ή γερμανικό.

5. Η μέθοδος για τη διαμόρφωση ενός αισθητήρα πίεσης σύμφωνα με την αξίωση 4, όπου το θυσιαστικό στρώμα

Το υλικό είναι άμορφος άνθρακας.

Τα αέρια χάραξης που χρησιμοποιούνται κατά τη διαδικασία της χάραξης του στρώματος θυσιακών υλικών περιλαμβάνουν O2, CO, N2 και AR.

Οι παράμετροι στη διαδικασία της χάραξης του στρώματος θυσιακών υλικών είναι: η περιοχή ροής του O2 είναι 18 SCCM ~ 22 SCCM και ο ρυθμός ροής του CO είναι 10%.

Ο ρυθμός ροής κυμαίνεται από 90 SCCM έως 110 SCCM, ο ρυθμός ροής του Ν2 κυμαίνεται από 90 SCCM έως 110 SCCM και ο ρυθμός ροής του AR.

Το εύρος είναι 90 SCCM ~ 110 SCCM, το εύρος πίεσης είναι 90 mTOR ~ 110 mTOR και η ισχύς προκατάληψης είναι

540W ～ 660W。