Ισχύει για τον αισθητήρα πίεσης common rail καυσίμου Passat 06E906051K

1. Μια μέθοδος για το σχηματισμό ενός αισθητήρα πίεσης, που περιλαμβάνει:

Παροχή ενός υποστρώματος ημιαγωγού, όπου ένα πρώτο διηλεκτρικό στρώμα ενδιάμεσης στιβάδας, ένα πρώτο διηλεκτρικό στρώμα ενδιάμεσης στιβάδας και ένα δεύτερο διηλεκτρικό στρώμα ενδιάμεσης στιβάδας σχηματίζονται στο υπόστρωμα ημιαγωγού.

Μια κατώτερη πλάκα ηλεκτροδίου στο πρώτο διηλεκτρικό στρώμα ενδιάμεσης στιβάδας, ένα πρώτο αμοιβαίο ηλεκτρόδιο που βρίσκεται στο ίδιο στρώμα με την κάτω πλάκα ηλεκτροδίου και σε απόσταση μεταξύ τους.

Συνδετικά στρώματα.

Σχηματίζοντας ένα στρώμα θυσίας πάνω από την κάτω πολική πλάκα.

Σχηματισμός μιας άνω πλάκας ηλεκτροδίου στο πρώτο διηλεκτρικό στρώμα ενδιάμεσης στρώσης, στο πρώτο στρώμα διασύνδεσης και στο στρώμα θυσίας.

Μετά το σχηματισμό του στρώματος θυσίας και πριν το σχηματισμό της άνω πλάκας, στο πρώτο στρώμα διασύνδεσης

Σχηματισμός αυλάκωσης σύνδεσης και πλήρωση του αυλακιού σύνδεσης με την επάνω πλάκα για ηλεκτρική σύνδεση με το πρώτο στρώμα διασύνδεσης. Ή,

Μετά το σχηματισμό της άνω πλάκας ηλεκτροδίου, σχηματίζονται αυλακώσεις σύνδεσης στην άνω πλάκα ηλεκτροδίου και στο πρώτο στρώμα διασύνδεσης, το οποίο

Σχηματισμός αγώγιμου στρώματος που συνδέει την άνω πλάκα ηλεκτροδίου και το πρώτο στρώμα διασύνδεσης στο αυλάκι σύνδεσης.

Μετά την ηλεκτρική σύνδεση της άνω πλάκας και της πρώτης στρώσης διασύνδεσης, αφαιρείται το στρώμα θυσίας για να σχηματιστεί μια κοιλότητα.

2. Η μέθοδος για το σχηματισμό ενός αισθητήρα πίεσης σύμφωνα με την αξίωση 1, όπου στο πρώτο στρώμα

Η μέθοδος για το σχηματισμό του θυσιαζόμενου στρώματος στο ενδιάμεσο διηλεκτρικό στρώμα περιλαμβάνει τα ακόλουθα βήματα:

Εναπόθεση ενός στρώματος υλικού θυσίας στο πρώτο διηλεκτρικό στρώμα ενδιάμεσης στρώσης.

Μοτίβο του στρώματος υλικού θυσίας για να σχηματιστεί ένα στρώμα θυσίας.

3. Η μέθοδος σχηματισμού του αισθητήρα πίεσης σύμφωνα με την αξίωση 2, όπου χρησιμοποιούνται φωτολιθογραφία και χάραξη.

Το στρώμα υλικού θυσίας διαμορφώνεται με διαδικασία χάραξης.

4. Η μέθοδος για το σχηματισμό ενός αισθητήρα πίεσης σύμφωνα με την αξίωση 3, όπου το στρώμα θυσίας

Το υλικό είναι άμορφος άνθρακας ή γερμάνιο.

5. Η μέθοδος για το σχηματισμό ενός αισθητήρα πίεσης σύμφωνα με την αξίωση 4, όπου το στρώμα θυσίας

Το υλικό είναι άμορφος άνθρακας.

Τα αέρια χάραξης που χρησιμοποιούνται στη διαδικασία χάραξης του στρώματος θυσιαζόμενου υλικού περιλαμβάνουν O2, CO, N2 και Ar.

Οι παράμετροι στη διαδικασία χάραξης του στρώματος θυσιαζόμενου υλικού είναι: το εύρος ροής του O2 είναι 18 SCCM ~ 22 SCCM και ο ρυθμός ροής του CO είναι 10%.

Ο ρυθμός ροής κυμαίνεται από 90 SCCM έως 110 SCCM, ο ρυθμός ροής του N2 κυμαίνεται από 90 SCCM έως 110 SCCM και ο ρυθμός ροής Ar.

Το εύρος είναι 90 SCCM ~ 110 SCCM, το εύρος πίεσης είναι 90 mtor ~ 110 mtor και η ισχύς πόλωσης είναι

540w~660w.